扫描电子显微镜

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【摘要】：

扫描电子显微镜（SEM）是一种通过用聚焦电子束扫描表面产生样品的图像的电子显微镜。

【介绍说明】

扫描电子显微镜（SEM）是一种通过用聚焦电子束扫描表面产生样品的图像的电子显微镜。电子与样品中的原子相互作用，产生包含样品表面形貌和组成信息的各种信号。以光栅扫描图案扫描电子束，并将光束的位置与检测到的信号组合以产生图像。SEM可以达到1纳米以上的分辨率，已经广泛应用于材料分析和失效分析领域。

【优点】

放大倍率高；超高分辨率；景深大；保真度好；试样制备简单，分析速度快、不损坏试样。

【结构组成】

电子光学系统；偏转系统；信号收集检测、放大系统；图像显示、记录系统；真空系统和电源系统。

【应用】

试样三维形貌的观察和分析；试样微区的成分分析；材料断口的分析；直接观察试样的原始表面；观察试样的各个区域的细节；试样动态观察；广泛应用于冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等领域。

无

通用