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扫描电子显微镜

扫描电子显微镜

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【摘要】:
扫描电子显微镜(SEM)是一种通过用聚焦电子束扫描表面产生样品的图像的电子显微镜。
【介绍说明】
       扫描电子显微镜(SEM)是一种通过用聚焦电子束扫描表面产生样品的图像的电子显微镜。电子与样品中的原子相互作用,产生包含样品表面形貌和组成信息的各种信号。以光栅扫描图案扫描电子束,并将光束的位置与检测到的信号组合以产生图像。SEM可以达到1纳米以上的分辨率,已经广泛应用于材料分析和失效分析领域。
【优点】
       放大倍率高;超高分辨率;景深大;保真度好;试样制备简单,分析速度快、不损坏试样。
【结构组成】
       电子光学系统;偏转系统;信号收集检测、放大系统;图像显示、记录系统;真空系统和电源系统。
【应用】
       试样三维形貌的观察和分析;试样微区的成分分析;材料断口的分析;直接观察试样的原始表面;观察试样的各个区域的细节;试样动态观察;广泛应用于冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等领域。